Работаем по всей России
promsnab-lab@yandex.ru
Чистые зоны для микроэлектроники и аэрокосмоса
Артикул: CHISTCOSMOS
Специфика современного производства микроэлектронных компонентов требует соблюдения очень высоких требований к чистоте воздушной среды при технологическом процессе
Особенности проектирования чистых зон
- Микроэлектроника
Для микроэлектроники порог чувствительности изделий к различного рода загрязнениям значительно ниже, чем для других отраслей промышленного производства. Современные технологические операции проводятся почти на молекулярном уровне, а с точки зрения физики процесса работа изделия зависит от чистоты материала, измеряемой на уровне ppt (один атом примеси на триллион атомов основного вещества). Подобные концентрации обычно не воспринимаются в любых других областях.
Критическими загрязнителями производственной среды являются частицы и следы примесей различных металлов (Na, K, Ca, Fe, Ni, Cr, Cu и Zn). Эти загрязнения вызывают губительные повреждения изделий, снижают уровень эффективности их работы и выход годных изделий. Например, частица размером около 0,5 мкм может чрезвычайно затруднять адгезию покрытия на пластине или чипе.
Чтобы повысить выход годных изделий и уменьшить производственные дефекты производители оснащают свои производства очень чувствительными приборами контроля окружающей среды. В чистых зонах полупроводниковой отрасли помимо концентрации аэрозольных частиц контролируют температуру, относительную влажность, воздушные молекулярные загрязнения и статическое электричество.
- Аэрокосмическая промышленность
В космической отрасли чистые зоны используются для различных целей.
Одной из составляющих является изготовление приборов для космической техники. Изготовление приборов с использованием фотоэлементов – обычная электронная технология, и здесь требуются высокие классы чистоты (4-5 ИСО), ведь они выпускаются на основе кремния и германия. А вот площади таких зон не очень большие, поскольку стоимость их чрезвычайно высока.
Оптические приборы тоже изготавливаются и тестируются в помещениях с контролируемой средой классов чистоты 6-8 ИСО. При этом кроме контроля концентрации частиц оптические устройства требуют контроля и молекулярных загрязнений воздуха.
- Перемещаемые чистые зоны
Чистые зоны могут быть изготовлены в мобильном варианте, когда существует возможность ее перемещения внутри помещения, где она установлена. Обязательна проверка герметичности уплотнения фильтров после перемещения.
- Стационарные чистые зоны
Чистые зоны могут быть изготовлены в стационарном варианте, когда их конструкции жестко крепятся к полу, стенам, потолку или другим силовым конструкциям помещения. Стационарная чистая зона может быть надстроена или интегрирована в различное специализированное технологическое оборудование.
Преимущества чистых зон
- Могут использоваться как в «чистом», так и в обычном помещении.
- Компактность чистых зон позволяет размещать их практически в любом помещении.
- По уровню чистоты воздуха зоны соответствуют чистым помещениям, но являются значительно более экономичным решением.
- Чистые зоны мобильны – их можно использовать там, где это необходимо в данный момент (сборно-разборные конструкции модульного типа).
Чистые зоны для микроэлектроники и аэрокосмоса способны поддерживать требуемые показатели чистоты воздуха во время осуществления технологических операций. В нашем ассортименте вы найдете большое количество товаров, соответствующих современным требованиям к стерильности.
Требования к чистым зонам для микроэлектроники и аэрокосмоса
В микроэлектронном и аэрокосмическом производстве выполнение специфических процессов приближено к молекулярному уровню. Материал, используемый для изготовления изделий, должен быть практически стерильным. Наименьшие частицы загрязнения, статическое электричество, неправильная влажность приведут к утрате свойств конечного продукта: фотоэлементов, чипов, пластин, полупроводников, оптики. Здесь крайне важна максимальная очистка окружающего пространства от микрочастиц любых размеров. Зонные конструкции различаются обустройством потолка, числом фильтровентиляционных устройств, которые или покрывают всю его площадь или монтируются строго в количестве, обеспечивающем достаточный ресурс.
Состав чистых зон для сфер микроэлектроники и аэрокосмоса:
- фильтромодуль с вентилятором для принудительной рециркуляции;
- конструкции-ограждения или направляющие элементы, формирующие и изолирующие места для работы, – имеют двери, проемы, окна, ворота;
- осветительная система;
- приборы для УФ-обработки;
- дополнительное оснащение для мониторинга степени очищенности воздушной среды.
Гарантии качества, оперативная доставка
В нашей компании вы можете купить стационарные и мобильные чистые зоны для микроэлектроники и аэрокосмоса, а также заказать их индивидуальное проектирование с адаптацией к специфике вашей деятельности. Предлагаем выгодные условия сотрудничества, доступные цены на товары и услуги, только сертифицированную продукцию. Свяжитесь с нашим специалистом удобным для вас способом и обсудите нюансы заказа. Заказанное вами оборудование в короткий срок будет доставлено в любой регион России.
Основным элементом любой чистой зоны является фильтровентиляционный модуль(ФВМ).Путем принудительной рециркуляции через НЕРА-фильтр фильтромодуль очищает воздух, который затем подается в рабочую зону.
- Формируют рабочее пространство чистых зон и изолируют его от окружающей среды
- Конструктивно они представляют собой металлический каркас с закрепленными на нем панелями. Панели могут быть выполнены из закаленного стекла, окрашенного металла или их комбинаций.
- Также в качестве ограждающих конструкций может использоваться завеса из ПВХ-ламелей, обладающих антистатическими свойствами.
- В ограждающих конструкциях предусматривается необходимое количество дверей, проемов, окон, ворот для прохода персонала и перемещения оборудования.
Дополнительно чистая зона может быть оснащена системой мониторинга чистоты воздушной среды
